Purificazione

Purificazione dei gas
Materiali inorganici rigenerabili per purificare il gas a temperature ambiente a livelli di ppt. Le innovative tecnologie e prodotti Entegris per il controllo della microcontaminazione dei gas garantiscono ai clienti di possedere le più moderne tecnologie per affrontare le sfide poste dal progredire costante dei dispositivi in ambito fotovoltaico, Life Sciences e batterie agli ioni di litio.

Purificazione dei liquidi
Le tecnologie di purificazione dei liquidi Entegris dai contaminanti di ioni metallici garantiscono la massima protezione da contaminazione di ioni metallici, offrendone la rimozione estremamente efficace in un unico passaggio, mediante acqua ultrapura e alcuni solventi organici. Ideali per applicazioni di pulizia critiche tra cui risciacquo con acqua deionizzata in ricircolo e strumenti per processi a passaggio unico, asciugatura di wafer e pulizia post-CMP.