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Cassetta per wafer di 150 mm, serie 182/190/194

Fornitore: ENTEGRIS INC
A182-60MU-0215 A190-60M-0215 A182-60MB-0215 A194-60MB-0215 A190-60MB-0215 A182-60M-0215 A190-60MH-0215 A182-60MC-0215 A18260MBH0215
216-2062EA 0 EUR
216-2062 216-1575 216-1573 216-2065 216-2063 216-2059 216-2064 216-2061 216-2060
Cassetta per wafer di 150 mm, serie 182/190/194
Manipolazione dei wafer Supporti per semiconduttori (wafer)
Serie 182
Cassetta per wafer da 150 mm a standard industriale. Contatto su quattro punti sulla barra 'H' per un migliore posizionamento del wafer. Design con pareti laterali aperte per ridurre al minimo la quantità di liquido intrappolata e favorire la copertura e lo scarico uniforme della soluzione. Design dal profilo alto per la massima protezione del wafer.

Interfaccia per apparecchiatura barra 'H'
Pin e fori sulla guida superiore
Materiale PFA naturale resistente agli agenti chimici
Capacità wafer: 25
Dimensione D1: 14,5 mm
Spaziatura tra le sedi: 4,8 mm
Misura sede: 1,5 mm

Serie 190
Profilo basso per prestazioni ottimali in applicazioni con forza centrifuga e per una migliore penetrazione dello spray nei wafer. Design con pareti laterali aperte per ridurre al minimo la quantità di liquido intrappolata e favorire la copertura e lo scarico uniforme della soluzione.

Interfaccia per apparecchiatura barra 'H'
Pin e fori sulla guida superiore
Materiale PFA naturale resistente agli agenti chimici
Capacità wafer: 25
Dimensione D1: 14,5 mm
Spaziatura tra le sedi: 4,8 mm
Misura sede: 1,4 mm

Serie 194
Cassette per prestazioni di automazione superiori. Rigidità e stabilità dimensionale della cassetta migliorate. Contatto su quattro punti sulla barra 'H' e sulla guida per un migliore posizionamento del wafer. Design con pareti laterali aperte per ridurre al minimo la quantità di liquido intrappolata e favorire la copertura e lo scarico uniforme della soluzione. Design dal profilo alto per la massima protezione del wafer.
Guida con tacche indicatrici per individuare la tredicesima sede (centro).

Interfaccia per apparecchiatura barra 'H'
Pin e fori sulla guida superiore
Materiale PFA naturale resistente agli agenti chimici
Capacità wafer: 25
Dimensione D1: 14,5 mm
Spaziatura tra le sedi: 4,8 mm
Misura sede: 1,5 mm

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